单硅烷相关论文
论述了利用直接法合成甲基氯硅烷单体过程中产生的有机硅高沸物裂解制备单硅烷的工业化方法,比较了现有催化裂解方法的技术指标,对......
单硅烷（SiH4）作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造多种高纯度晶体硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅及金属硅化物,详细介绍了硅化镁法和......
介绍了硅烷（SiH4）的物化性质和应用。电子和半导体行业用SiH4要求有高的纯度，重点介绍了SiH4的精制工艺。SiH4的精制方法主要有吸附法......
单硅烷作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造多种高纯度晶体硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅和金属硅化物。介绍了一种以硅化镁、氯......
单硅烷（SiH4）作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造多种高纯度晶体硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅及金属硅化物，因其高纯度和能够实现精......
单硅烷（SiH4）作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造多种高纯度晶体硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅及金属硅化物，因其高纯度和能够实现精......
提供一种硅化镁制备单硅烷的方法，并对制备工艺进行了研究，得到的优化工艺条件为：氯化铵和硅化镁的摩尔比为8：1．液氨含水量〈10°，氯......
