砷化镓晶片相关论文
砷化镓(GaAs)是应用广泛的化合物半导体,由于高脆性的特点,其划切加工一直是晶圆制造的难题。激光辅助水射流技术适用于硬脆材料的微细......
采用常规的碱性清洗液清洗大偏角半导体级激光器用砷化镓晶片,外延后会出现几万颗缺陷点。清洗完成后的晶片用X射线光电子能谱(XPS)分......
本文主要论述了用分子束外延(MBE)生长的砷化镓层的缺陷的种类,采用表面尘埃测试仪、扫描电子显微镜(SEM)、全色阴极发光(Panchroma......
采用范德堡霍尔方法测量GaAs抛光晶片的电学性质(迁移率、电导率、载流子浓度),根据迁移率、电导率、载流子浓度随样品截面积减小(......
用透射电镜、扫描电镜对GaAs材料加工工艺中的表面损伤层进行了观察和检测。结果切片损伤层深度≤50μm、双面研磨损伤层深度≤15μm、机械化......
【正】砷化镓是一种感光性能比当前广泛使用的硅更优良的材料,理论上它可将接收到的阳光的40%转化为电能,转化率约是硅的两倍,因此......
据海外媒体报道,美国伊利诺伊大学等机构的研究人员近日研发出一种可批量生产砷化镓晶片的技术,克服了成本上的瓶颈,从而使砷化镓这种......
据媒体报道,国内最大的砷化镓材料生产基地——中科晶电信息材料(北京)有限公司量产揭幕仪式近日在京举行。这标志着我国砷化镓材料生......
新一期英国《自然》杂志报告说,美国研究人员研发出一种可批量生产砷化镓晶片的技术,克服了成本上的瓶颈,从而使砷化镓这种感光性能比......
据海外媒体报道,美国伊利诺伊大学等机构的研究人员近日研发出一种可批量生产砷化镓晶片的技术,克服了成水上的瓶颈,从而使砷化镓这种......
4月15日,记者来到大庆高新区新辟建的化合物半导体新材料产业园,实实在在的见识了引导基金助推产业项目建设的“庐山真面目”。产......
用透射电镜,扫描电镜对GaAs材料加工工艺中的表面损伤层进行了观察和检测。结果切片损伤层深度≤50μm,双面研磨损伤深度≤15μm,机械化学抛光损......