硅集成电路技术相关论文
SOI(silicon-on-insulator)被国际上公认为是“二十一世纪的硅集成电路技术”,本文综述了SOI技术新进展.SIMOX和Smart-cut SOI技术......
ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｎ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）技术发展迅速，被认为是２１世纪最重要的硅集成电路技术。ＳＯＩ－ＣＭＯＳ电路具有高速度、低功耗、抗辐照等一系列优点。作者用氧、氮离子注入硅中......
ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｍ ｏｎ Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）技术是２１世纪的硅集成电路技术。离子注入ＳＩＭＯＸ（Ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ ｂｙ Ｉｍｐｌａｎｔｅｄ Ｏｘｙｅｎ）材料是最重要的ＳＯＩ材料。报道了氧注入单晶硅，经过高温长时间退火后，形成质量很好的ＳＩＭＯＸ薄......
SOI(Silicon-on-insulator)被国际上公认为是“21世纪的硅集成电路技术”.SOI是在硅材料与硅集成电路巨大成功的基础上出现的、有......
