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用一种新型磁控溅射气体凝聚团簇源产生Cu-n(n是团簇原子个数)团簇束,当团簇束分别在偏压为:0,1,3,5,10kV的电场中加速后,在真空中......
火箭发动机内流场中的大量液态颗粒与喷管的壁面发生碰撞后会产生沉积或者破碎,从而影响发动机的性能.为了研究这个问题,本文采用M......
用一种新型磁控溅射气体凝聚团簇源产生Mo-n团簇束,当团簇束分别在偏压为0、1、3、5、10 kV的电场中加速后,沉积在室温下的P型Si(1......
期刊
用一种新型磁控溅射气体凝聚团簇源产生Mo-n团簇束,当团簇束分别在偏压为0、1、3、5、10 kV的电场中加速后,沉积在室温下的P型Si(1......
用一种新型磁控溅射气体凝聚团簇源产生Cu-n(n是团簇原子个数)团簇束 ,当团簇束分别在偏压为:0,1,3,5,10 kV的电场中加速后,在真空......
介绍了荷能团簇飞行时间质谱仪的原理及其在荷能团簇碰撞沉积装置中的物理设计。对实验中出现的若干问题进行了探讨,并提出了解决的......