碳污染相关论文
光学元件污染对X射线传输有很大的影响，尤其是高亮度、高相干X射线自由电子激光的传输。然而，目前针对X射线自由电子激光光学元件污......
为有效评估和预测在极紫外光辐照下,极紫外光刻机中残留的碳氢化合物气体在多层膜光学元件表面造成的碳污染状况,建立了光学元件表......
极紫外光刻系统中的碳污染会降低多层膜反射率,在保证光学元件性能的前提下,如何选择碳清洗工艺是一项重要课题。通过对不同清洗工......
第一条同步辐射光刻光束线已在合肥国家同步辐射实验室建成，并刻出了线宽0．2μm的图形。真空系统是光束线的重要组成部分。该真空系......
利用自行设计的实验装置,研究了同步辐射光活化氧对光学元件表面碳污染的清洗作用。清洗前样品的碳层厚度为10.3 nm,同步辐射光被......
同步辐射装置中的光学元件在一段时间使用后表面会被污染。随着同步辐射能量的提高，这种现象越来越严重。经研究，表面污染物的主要成......
运用相平衡分析的方法，对（Ｇａ，Ｉｎ）Ａｓ半导体ＭＯＶＰＥ生长过程中源物质热分解后的气相物种分压进行了分析，得到了沉积物种的生成率随各生长参数的变化规律......
1年前,作为新当选的陆克文政府的首次正式行动,澳大利亚批准了.现在,澳人利亚正采取另一项重要行动,以实现“低碳未来”.......
美国车辆燃油效率新标准，旨在改善能源安全、减少碳污染、节约燃油成本、支持制造业创新。 关注燃油经济性和效率 美国总统奥......
铀和铀合金用涂层不同于通常的耐高温涂层,不仅要求具有耐高温和抗热震,还要求涂层与基体和熔体之间具有化学稳定性.分析了熔炼过......
美国政府颁布了新的汽车环保条例，提高了汽车燃油能耗标准，以及规定汽车废气排放量。美国车辆燃油效率新标准，旨在改善能源安全、减少......
为了研究放电等离子烧结(SPS)过程中采用石墨模具对烧结材料的污染情况,以金属W为原料,用石墨模具,压力为30MPa,分别在1 500℃和1 ......
同步辐射光束线的光学元件的碳污染问题。它导致光学系统的光通量下降,尤其是在碳吸收边情况更加严重。因此在光束线运行一定的时......
用冷基底溅射方法和静电贴膜方法分别在微通道板表面制备了电子透射膜,采用俄歇电子能谱(AES)研究了两种工艺制备的微通道板电子透......
8月3日,美国总统奥巴马与美国环保署（IEA）发布“清洁能源计划（CleanPowerPlan）”,这是该计划经过一年时间的审核、数百次的会议及环保......
在众多的电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）实验室里,均可发现该类仪器在45 U谱线上存在着偏高、极不稳定的背景信号。本工作在识别此类......
印刷书、电子书，哪一个对环境更友好？不久前，法国“碳4”企业咨询公司深入研究了这个问题。专家们对电子书与印刷书二者产生的二氧化......
天然气是最洁净的化石燃料——每单位燃烧时其产生的碳污染是煤炭的一半，不及石油产生碳污染的三分之一。最新发展的科技使得开发储......
极紫外光刻技术(Extreme ultraviolet lithography-EUVL)是未来22nm节点以下的主流光刻技术。在曝光过程中,光刻机内部EUV多层膜表......
为了研究放电等离子烧结钛酸钡陶瓷过程中的碳污染及脱碳工艺，以钛酸钡粉体为原料，用石墨模具，以碳纸为脱模包覆材料，在1150℃、50MPa......
同步辐射光束线上存在的碳污染是影响光束线特别是软X光束线传输效率的重要原因,污染的生成与镜箱腔壁上存在有少量的油有关。为了......
从加速电压的选择、和峰的判断及定量标准化3方面对影响EDS分析钢中C元素准确度因素进行试验研究,分析加速电压、和峰及定量标准化......
旨在对大气PM2.5中碳污染来源进行解析,以寻求科学合理的预防与污染控制对策.在广州市9个居民住宅的室内、室外同步采集了PM2.5样......
加速器质谱(AMS)是进行14C同位素分析的主要技术手段,而高精度低本底加速器质谱14C分析主要受样品制备技术限制,因此探讨如何提高......
前言电泳涂漆在汽车、摩托车、自行车、家用电器、仪表等现代工业部门已获得广泛应用、漆前处理可直接影响电泳涂漆的质量,因此研......
基于微通道板材料和结构特性,采用俄歇电子能谱仪(AES)分析了不同清洗条件下微通道板表面碳污染情况。研究结果表明:微通道板表面......
本文以亚微米级立方相钛酸钡粉体为原料,采用放电等离子烧结技术在各种不同工艺条件下制备了钛酸钡陶瓷。首先,以烧结温度为1150℃......
通过比较微量铜铁单独存在和共存时对p -型硅片表面的污染,采用电化学直流极化和交流阻抗技术以及SEM、EDX和AES等现代表面分析技......
利用PHI-590 SAM对失效的LaB_6阴极进行分析,结果表明,失效原因是碳和氧的严重侵害和镧原子相对于硼原子的不足。由于碳、氧的污染......
针对极紫外（EUV)光刻机工作过程中，多层膜反射镜表面沉积碳污染造成的反射率下降问题展开研究，讨论了多层膜反射镜表面碳污染清洗方法......
