磁偏转器相关论文
在电子束焊接、电子束增材制造等多种应用技术中,偏转器的性能直接影响着电子束的加工效率和质量,其中包括偏转器的偏转范围和高频......
本文讨论了复合磁透镜和磁偏转器场中,电子束主轨迹和偏转像差之间的关系。为了改善电子束扫描系统的性能,本文提出了一阶近似的电......
本文在大岩元、俊藤英一、Preiffer和陈仲玮等人的基础上,系统地研究了扫描电子束曝光机的磁复合物镜,提出了三级近似的广义变轴物......
在电子束曝光机中，工件传动台、电磁偏转场及标记三者相对应的座标轴是否重合，是影响图形拼接精度的重要因素之一。本文概要地介绍了......
