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纳米钛薄膜相关论文

PID调节器对制备纳米钛薄膜的重要作用

简述了IBAD(离子束辅助沉积)法制备纳米钛膜的过程中,关键工艺因素是如何将衬底温度维持在一个适当的范围,并运用PID(比例积分微分......

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PID调节器纳米钛薄膜衬底温度离子束辅助沉积比例积分微分晶粒尺寸控制 nanometer TiB2film substrate temperature

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