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部分耗尽SOI器件研究
本文研究了部分耗尽SOI器件,主要的研究成果包括: 1)研究了背栅沟道注入对于浮体和体接触部分耗尽CMOS/SOI器件击穿特性的影响,......
学位
部分耗尽SOI器件
击穿电压
半背栅沟道注入
动态阈值晶体管
制备工艺
SOI MOS器件辐射效应的机理与可靠性研究
当电子元器件持续暴露于辐射环境时,高能粒子会进入电子器件内。这些高能粒子将会在组成器件的各种氧化物和绝缘体结构内,形成大量......
学位
部分耗尽SOI器件
总剂量效应
单粒子效应
氧化层空穴陷阱
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