钴插塞相关论文
集成电路现处于极大规模（GLSI）发展阶段,传统的钨插塞已经无法满足器件的性能要求,钴（Co）材料由于具有较小的电阻率以及好的沟槽填充比......
自进入10nm及以下技术节点,传统钨（W）插塞由于电阻率高已不能满足集成电路发展需求,可采用电阻率较低的钴（Co）材料（～6.64μΩ·cm）替代。......
