离子束辅助镀膜相关论文
该文简单介绍利用离子束辅助镀膜(IAC)设备沉积类金属刚石碳(DLC)膜的工艺，并对沉积的DLC膜的硬度、电阻率、结合力等乾地测试分析......
离子束辅助镀膜技术是受到国内外薄膜工作者重视的一种新技术,离子源是离子束辅助蒸发、离子束溅射等技术的关键装置.该文对一种新......
介绍了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的端部霍尔离子源的工作原理,并论述了端部霍尔离子源的离子能量、离子分布特性的测试方法;......
介绍一个达用于光学镀膜用的直径为φ120mm的大束密均匀区离子源的结构设计及性能参数，并地影响束密均匀性的因素进行了讨论。......
论述了该源的工作原理,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布.设计采用了永久磁铁并利用极靴产生发散磁,沿轴向有较大梯度的磁场,又称......
论述了霍尔等离子体源的工作原理,讨论并测试了该源最佳的磁场及分布.本设计采用永久磁铁并利用极靴产生发散磁场,及沿轴向有较大......
离子束辅助镀膜是近20年来发展起来的新技术．宽束冷阴极离子源是离子束辅助蒸发技术的关键装置，具有寿命长，无灯丝可以连续工作、结构......
随着工业技术的发展及市场的需求,低能宽束离子源已广泛应用于微细加工的离子束刻蚀技术、材料改性的离子束注入混合技术和光学薄......
在离子束辅助镀膜过程中,绝缘薄膜材料上的电荷积累效应严重影响了薄膜质量。通过对宽束冷阴极离子源的改进,在引出极施加交变电压......
