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(100)定向生长相关论文
(100)定向CVD金刚石薄膜的制备及其电学性能
采用HFCVD制备金刚石薄膜的方法,以乙醇为碳源,氢气为载气,在适当的衬底温度下,合成出具有(100)晶面取向均匀生长的金刚石薄膜.SEM,XRD和......
期刊
金刚石薄膜
HFCVD
(100)定向生长
电学特性
diamond films
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(100)-oriented growth
electrical
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