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193纳米相关论文
193纳米微影湿浸式技术暂居较佳发展位置
微影工艺技术在IC制造中一直扮演着举足轻重的角色,随着IC产品技术需求的提升,微影技术也需不断地提高分辨率以制作更微小的特征尺......
期刊
IC制造
193纳米
微影湿浸式技术
特征尺寸
极短紫外光微影
投射式电子束微影技术
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