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源于其高电荷迁移率，III-V族半导体材料有望在10nm技术节点以下的低功耗晶体管上得到采用。采用角分辨X射线光电子能谱(ARXPS)，表征......
用溶胶-凝胶法和快速退火工艺在SiO2/Si（111）基片上生长了钙钛矿结构BaTiO3薄膜.用X射线光电子能谱技术（XPS）和角分辨X射线光电子能谱......
极薄薄膜的覆盖率有时难以用常规方法定量表征。本文提出了一套以单层薄膜的角分辨X射线光电子能谱（ARXPS）模型测定极薄薄膜的厚度h,......
