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Al-Zr共掺杂相关论文

Al-Zr共掺杂ZnO透明导电薄膜制备及光电性能研究

采用直流磁控溅射法,在室温水冷玻璃衬底上制备出Al-Zr共掺杂的ZnO透明导电薄膜。研究结果表明,Ar气压强对Al-Zr共掺杂ZnO透明导电......

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共掺杂 Al-Zr ZnO 透明导电薄膜 Al-Zr共掺杂纤锌矿结构薄膜制备磁控溅射直流磁控溅射多晶薄膜

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