薄膜制备相关论文
在真空环境中进行原子级别的薄膜生长，基板的表面温度监控是关键技术之一。针对不同尺寸的基板，通过热电偶测试基板近旁的温度和红外......
采用溶胶凝胶法和浸渍提拉法制备聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）光学薄膜，利用紫外分光光度计测量了薄膜的透射谱，通过光度法计算薄膜的透射光......
螺旋波等离子体因其具有低气压、等离子体密度高、电离率高的特点,在等离子体刻蚀、薄膜制备、集成电路、材料表面改性等领域得到......
随着以柔性能源、柔性显示、柔性传感为代表的柔性电子产业迅猛发展,其中核心部件之一柔性透明导电薄膜的高质量制造成为一个关键......
采用传输矩阵法和蒸发镀膜工艺,设计并制备了一种中、远红外双波段兼容隐身的光子晶体薄膜。测量了该光子晶体膜层的实际厚度和中......
High performance optical coating requires excellent uniformity of thin-film. Keeping the surface of evaporation material......
线性渐变透过率薄膜元件是光刻系统中光可变衰减器的关键元件。采用电子束蒸发实现了近线性248 nm渐变透过率光学薄膜的设计与制备......
环行器作为微波通信系统中的组成部分，主要用于通信信号的接收和发射，具有不可替代的作用。随着移动通讯技术的飞速发展，环行器的小型......
有机-无机杂化钙钛矿太阳能电池作为新型薄膜太阳能电池异军突起。自2009年日本学者首次将卤素铅钙钛矿材料应用于染料敏化电池获......
采用喷涂法在玻璃、陶瓷和不锈钢等基片上制备了具有光催化活性的α-Fe2O3薄膜,并以亚甲基蓝作为模拟有机污染物评价其光催化活性......
本文研究了脉冲激光溅射镀膜技术沉积WO_3基片在室温下,沉积的WO_3膜部分晶化并部分还原.经热处理,在450℃左右膜层开始晶化,最后......
脉冲激光沉积(PLD)技术凭借其低温生长优势,逐步在GaN薄膜外延领域得到广泛应用。回顾了近年来PLD技术外延生长GaN薄膜的研究进展,......
高温超导薄膜在通信、医疗、军事、航空航天等领域具有非常好的应用前景，其中铊系高温超导薄膜临界转变温度相对较高，可以大大降低对......
Cu(In,Ga)Se2(CIGS)是一种直接带隙材料，光吸收系数高达105数量级，是目前己知的光吸收性最好的半导体薄膜材料。利用一步法电沉积制......
Thz技术在通信、安全、医疗卫生、环境、工业化过程控制以及安全保障等领域具有重要意义。到目前为止，由于自身能隙以及电子传输速......
银簇合物因其结构多样性和突出的性能,受到了人们的广泛研究。在合成方面,人们逐渐把关注的焦点转移到对银簇合物的理性设计及功能......
近年来,硫化锑(Sb_2S_3)因其优异的电学和光学性能,被认为是传统薄膜太阳电池的吸收层材料中极具发展前景的替代材料之一。本论文......
在航空航天事业中,为了避免大型事故和损失,各种零部件的工作温度需要有较为严格的控制和检测。为了对航空部件使用过程中的温度变......
二十一世纪是信息化的时代,近年来人们对数据存储性能和数据处理能力的需求不断提高,这促使了半导体集成工艺和技术的持续改进和创......
在简要论述Zn O基透明导电膜发展现状基础上,重点讨论近年来Zn O薄膜的最新研究热点,包括在提高迁移率和载流子浓度、功函数、光学......
硝酸纤维素薄膜是灵敏度较高的固体径迹探测器材料。采用简便的、精确的火花计数技术,能对较大面积的硝酸纤维素径迹探测器上的低......
使用 2 6 6nmNd YAG激光 (脉宽为 4ns ,能量密度 2J/cm2 ) ,以钛合金作衬底 ,在温度为4 0 0～ 4 50℃条件下 ,分别选择真空、Ar、O2 ......
ZnO作为第三代半导体功能材料,一直受到国内外的广泛关注。高质量的p型掺杂是基于光电器件应用的关键。综述了获得p型ZnO薄膜的制......
采用脉冲激光沉积(PLD)技术,在SrTiO3(STO)单晶衬底上成功地制备了不同组分x(x=0.03,0.30,0.53,0.80,0.97)和掺杂M(原子数分数为3%......
膜厚均匀性是评价光学薄膜的重要标准之一。膜厚均匀性不好,膜系特性就会遭到严重破坏。作为用于光学薄膜的主要低折射率材料,SiO2......
以In2O3和GeO2为原料,采用碳还原法制备了In2Ge2O7多晶薄膜,利用XRD和SEM对薄膜的结构和形貌进行了表征。对基于In2Ge2O7薄膜的金......
采用射频（RF）磁控溅射的方法，通过改变工艺参数在n型Si（100）片上制备六方氮化硼（h—BN）薄膜。通过傅立叶红外（FTIR）光谱仪，x射线衍射（xRD）仪进......
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si及SiC基底上制备了相同厚度的GaN纳米薄膜并对其进行了微结构表征及场发射性能测试分析.结果表明:......
用气相化学沉积法制备薄膜的过程,包括薄膜制备工艺本身和制备高纯度易挥发的原始材料(有机化合物,氢化物和卤化物)以及有关化学......
介绍了低压化学气相淀积多晶硅薄膜的制备原理及制备技术.对多晶硅成膜质量进行了分析,分析了影响多晶硅薄膜均匀性、致密性、淀积......
紫外日盲通信凭借其优良的光学特性被越来越多地应用在光学系统中。紫外日盲通信系统与常规通信系统相比,具有结构简单、虚警率低......
激光晶化制备多晶硅薄膜的技术具有晶化温度低、工艺简单，薄膜性能优良等优点，是目前产业界主要采用的多晶硅薄膜的制备技术。但目前......
由于科学研究和工业应用的需要，高分子薄膜在硬基底上去润湿现象近年来引起了人们的极大关注。通常，由于保护涂层或油漆的破损，薄膜不......
Ti-W-N和Ti-W-N／MoS2是典型的减摩、耐磨涂层,且具有很好的抗氧化性、良好的润滑性和耐磨性,因而受到广泛的关注。(1)磁控溅射制备T......
CdIn2O4(CIO)薄膜是一种n型三元金属氧化物薄膜材料,由于其优异的光电性能和广泛的应用前景而倍受人们的青睐,成为当前透明导电氧......
微机电系统(MEMS)具有体积小、质量轻、集成度高等特点,但MEMS结构微型化后,其构件间的间隙往往处在微纳米量级,摩擦和粘着等摩擦......
PZT厚膜具有高压电性能和机电耦合系数,在高频超声传感器、微换能器、微变形镜等高性能微器件方面具有广阔的应用前景。利用电射流......
近几年，纳米孔传感器在基因测序领域的应用取得了重大进步，特别是固态纳米孔在材料选择、稳定性、易集成等方面优势，成为近些年纳米孔......
近几十年来,由于金纳米颗粒(Au nanoparticles,Au NPs)在催化、纳米微电子、药物载体、信息储存、光学等方面有很好的应用前景,引......
近半个世纪以来,科学和生产发展的事实说明,电子学的发展深刻影响着当今社会的各个领域。而在电子学的发展中,起重要作用的是在理......
采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)在不同的基片、不同的电极上制备了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)薄膜,构造了不同的电容器结构,并进行了多种性能的检......
离子束溅射技术经过近40年发展，已经成为一类非常重要的薄膜制备技术。由于离子束溅射技术污染小，成膜条件易于精确控制，离子束能量和......
氮化铝（AlN）薄膜具有很多突出的物理化学性质，如高折射率、高光学透射比、化学稳定性好等特点，近年来倍受国内外广泛的关注。氮化铝薄......
本文使用磁控溅射制备薄膜的方法在室温的条件下,制备了TiO_2/Ag/TiO_2、TiO_2/Ag/ZnO、ZnO/Ag/ZnO三种氧化物夹层银的透明电极。......
