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Al焊盘相关论文
Al焊盘表面氧化膜对金丝键合的影响
在半导体制造工艺中,Al焊盘表面的氧化膜会阻碍金丝键合。针对某公司新半导体工艺中出现键合失效问题的芯片,采用SEM,EDS和AES对切......
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Al焊盘
金丝键合
氧化膜
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