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BiCMOS结构中阱特性的研究
叙述了以双极型工艺为主体的BiCMOS结构中p阱电阻比值非线性的特性及其与芯片合格率的关系。在p阱下面采用埋层,抑制或消除了BiCOMS中;p阱结构的寄生......
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