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首次在氩气气氛中对用磁控溅射法制备的 CNx 薄膜的热稳定性进行了 TG- MS研究。实验结果表明 ,CNx 薄膜在室温至 70 0°C左右约有......
超硬材料的研究是材料科学领域的一大重要课题.Cohen等在研究物质的硬度时,得出了一个半经验公式,从而预言了一种碳氮化合物p一qN;......
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本文的研究内容分两大部分:第一部分研究了一种新型的薄膜制备技术,即双放电腔微波-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射;第二部分为利用该......
近年来随着计算机硬盘技术的高速发展,磁存储密度迅速提高,减小磁头和磁盘间隙成为提高磁存储密度的一种有效技术手段,减小间隙即减小......