CZ-SI相关论文
详细阐述了COP、LSTD和FPD等空洞型原生缺陷的基本性质、形成机理和它们与晶体生长参数的关系,以及目前主要采用的几种消除空洞型......
CZ-Si单晶中的流动图形缺陷（FPDs）是否属于空洞型缺陷，目前尚有争议。通过光学显微镜和原子力显微镜对其结构进行了细致地研究。实验......
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随着集成电路的飞速发展,特征尺寸不断缩小,对硅材料质量提出了越来越高的要求,当衬底材料的缺陷尺寸为ULSI特征线宽的1/3以上时,......
目前，能源和环保是世界两大热点。随着经济的发展、社会的进步，人们对能源提出越来越高的要求，寻找、开发新能源成为当前人类面临的迫......
本文研究了大直径直拉硅单晶中的原生微缺陷—流动图形缺陷（flow pattern defects，FPDs）。分析了FPDs的微观形貌，及其在Secco腐蚀液中......
