快速热处理相关论文
快速热处理工艺对2205双相不锈钢的组织影响显著,其峰温温度、双相区温度、冷却速率和保温时间都对最终奥氏体形貌有明显的影响。......
2205双相不锈钢（Duplex Stainless Steel,DSS）显微组织由体积比接近1:1的铁素体和奥氏体两相组成,具有优良的力学性能和耐氯化物应力......
铸造Al-Si合金由于其优异的综合性能在汽车轮毂、副车架等关键部件得到了广泛应用。但是,随着社会需求的不断提高,一般的Al-Si合金......
自对准硅化物通常用于降低多晶硅栅的薄层电阻(Rs)和硅源/漏(S/D)区域的接触电阻。对于90nm以下的器件,S/D区域还要求是重掺杂的超......
大型筒节是核电、石油化工、煤液化等装备的关键部件,随着我国的能源产业结构逐渐向低碳经济和清洁能源的方向发展,核电、石化、航......
从微观织构、产品性能及投资与生产成本角度简要介绍了钢铁行业带钢热处理领域正在迅速发展的超快速热处理工艺,同时,详细介绍了带......
研究了凝固组织和Mg含量对A356合金快速热处理的影响.结果 表明,A356合金经过Sr变质后,其凝固组织中的共晶Si形貌由纤维状变成球状......
LaNiO3具有优良的导电性能，且与大多数铁电材料相似的钙钛矿结构，被认为是铁电薄膜理想的电极材料，在Si基上制备出质量良好的LaNiO3薄......
ZnO是一种新型的Ⅱ—Ⅵ族宽禁带化合物半导体材料,由于ZnO具有很高的激子束缚能（室温下为60meV）,激子增益可达到300cm-1,是一种可能......
太阳能是一种非常重要的可再生清洁能源,使用太阳电池发电是利用太阳能的重要途径之一,而制备低成本、高效率太阳能电池则是大规模......
太阳能是人类解决能源和环境问题的重要途径。硅基太阳电池凭借原材料丰富、安全无毒、转化效率高等优点，仍将在今后很长一段时间占......
氧和氮是直拉硅单晶中非故意掺杂的重要杂质,它们显著影响直拉硅单晶的性能。傅立叶变换红外光谱(FTIR)是研究上述两种杂质在直拉......
CulnSe2薄膜具有较为理想的带隙(1.04ev)，光吸收系数高(105cm-l)，抗辐射能力强，无光致衰退效应，可调带隙（通过Ga取代In和S取代Se）等优点，......
鉴于过渡族金属铜和铁的玷污对硅基材料和器件的影响,研究直拉单晶硅中铜沉淀和铁沉淀的行为,不仅在理论上对“缺陷工程”的丰富和......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
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亚稳定β钛合金较其它钛合金具有良好的机械性能匹配,例如高的比强度、优良的抗疲劳和抗裂纹扩展能力.这种合金固溶时效后的具有完......
采用直流对靶磁控溅射结合快速热处理工艺制备了具有金属-半导体相变特性的氧化钒(VOx)薄膜.利用XRD,XPS和SEM对薄膜结晶结构、薄......
研究分子束外延 (MBE)生长的应变In0 .2 Ga0 .8As GaAs折射率梯度变化异质结单量子阱激光二极管的快速热处理 (RTA)效应 .结果表明......
采用直流对靶磁控溅射结合快速热处理工艺制备了具有金属-半导体相变特性的氧化钒(VOx)薄膜.利用XRD,XPS和SEM对薄膜结晶结构、薄......
对重掺As硅片进行快速热处理,发现重掺As硅片中氧沉淀行为与快速热处理温度、保温时间和降温速度有很大的关系.随着快速热处理温度......
对多孔硅样品进行了各种气氛下(氮气、氩气、氧气和空气)的快速热处理(rapid thermal process,RTP).测试了RTP处理前和处理后多孔......
采用微波等离子体加热方法对金属薄膜进行热处理,理论计算表明,微波可以透过纳米尺度的金属薄膜传播,从而可以使微波加热方式应用......
采用快速热处理对电池片表面非晶氮化硅膜进行不同温度和不同时间热处理退火比较，研究退火对薄膜减反射性能的影响。结果显示：随着快......
采用快速热处理的方法,提高了室温下WO3薄膜气体传感器对NO2的敏感特性。首先采用直流对靶磁控溅射的方法在Al2O3陶瓷基底上沉积纳......
采用传导与辐射耦合传热模型,对快速热处理工艺中晶圆片内传热过程进行了数值模拟,研究了SiO2沟槽宽度和沟槽排列密度对晶圆片温度......
针对现有测温仪无法适应高温与真空工作环境的问题,对光纤传导辐射能进行了定性和定量分析,建立了光纤传导测温模型,导出了选型参......
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备钛酸锶钡(BST)薄膜,采用快速热处理(RTA)对薄膜进行烧结.利用DSC、XRD、SEM等技术分析了钛酸锶钡凝......
采用改进的溶胶-凝胶（Sol-Gel）方法在Pt／Ti／SiO2／Si基片上制备锆钛酸铅（PZT）纳米晶薄膜，研究了不同的热处理方式对PZT薄膜的晶粒结构、尺寸......
以金属氯化物、Se粉为原料,在有机溶剂中经过回流反应合成前驱物,再经快速热处理制备了CuInSe2粉末.采用XRD、Raman光谱、TG-DTA、......
利用Gleeble-1500热模拟机研究了快速加热循环热处理工艺对TiAl基合金显微组织的影响. 结果表明: 利用该工艺可以使铸态TiAl基合金......
采用射频溅射法在Si基片上制备BaSrTiO3（BST）薄膜，利用S射线衍射和原子力显微镜（AFM）研究了快速热处理温度和时间对BaSrTiO3薄膜微结构......
联合导体和放射热转移模型被用来在晶片以内模仿热转移并且在晶片表面以内在温度不一致上调查热运输性质的效果。这被发现增加的传......
用快速热处理(RTP, Rapid Thermal Processing,)制备太阳电池p-n结开辟了一种新的低成本技术.这些年许多科研机构对RTP系统的设计......
在半导体圆片生产工艺中，快速热处理(也称“热退火”)是半导体圆片经过注入工艺后必不可少的工序之一。半导体圆片快速热处理设备是......
介绍了当前超大规模集成电路技术的发展现状及几种主要生产工艺,如化学机械抛光、离子注入、物理气相沉积、化学气相沉积、刻蚀等,......
近日，应用材料公司宣布推出AppliedVantageVulcan快速热处理（RTP）系统，推动最先进纳米级晶体管制造的发展。该系统超越了当前的RTP技术......
通过对已经过两步(低-高)退火的大直径直拉硅单晶片进行高温快速热处理，研究硅中氧沉淀被高温快速热处理消融的情况．研究证实：高温快......
研究了不同气氛下快速预热处理（RTA）后，硅片中的流动图形缺陷（FPDs）密度和随后两步热处理形成的魔幻清洁区（MDZ）之间的关系．硅片经过高温快......
研究了掺杂剂原子种类及快速热处理技术对大直径直拉硅单晶中空洞型微缺陷密度的影响．实验结果发现，掺入半径较大杂质原子的硅片，空洞......
深亚微米尺度（90 nm）下,对在金属Ni膜中加入微量Pt,再经过高温退火形成NiSi.对该固相反应的反应序列进行了研究.研究发现Ni2Si-to-Ni......
提出了一种适应于快速热处量设备(RTP)的温度测量与控制方法。介绍了快速热处理设备工作原理和主要关键技术;针对温度测量与温度控......
通过MOD法和快速热处理过程,在Si(100)和Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备了LaNiO3(LNO)导电氧化物薄膜.经XRD结构分析表明,所制备的L......
研究了不同气氛(N2、O2、Ar)下高温快速热处理(RTP)对热施主形成和消除特性的影响．研究发现无论在何种气氛下进行高温RTP，对热施主的......
期刊
研究了低温等离子体增强化学气相沉积（PECVD）氮化硅（SiNx）薄膜的快速热处理,发现一种能使硅片少子寿命（τ）显著提高的快速热退火工艺并对......
为使YIG磁性薄膜应用到Si集成电路中，利用Sol—Gel技术晶化温度低的特点，结合快速热处理（RTP）工艺在Si基上制备了Y2.97，Bi0.05FesO12薄......
