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Fe—Si组合靶相关论文

直流磁控溅射法制备单一相高质量β-FeSi2薄膜

报道了在单晶Si（100）衬底上，采用室温直流磁控溅射Fe—Si组合靶的方法，并经过后续气氛退火来制备β-FeSi2薄膜的结果。主要研究了退火......

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β-FeSi2薄膜直流磁控溅射 Fe—Si组合靶太阳电池 β-FeSi2 thin films DC-magnetron sputtering Fe-S

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