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GaN/GaAs(001)外延薄膜的湿法腐蚀特性(英文)
对在GaAs (0 0 1)衬底上用金属有机物气相外延 (MOVPE)方法生长的GaN薄膜的湿法腐蚀特性进行了研究 .所用腐蚀液包括HCl、H3PO4 、......
期刊
湿法腐蚀
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低温MOCVD法沉积的GaN/GaAs(001)薄膜中的孪晶现象(英文)
采用同步辐射XRD极图法对低温MOCVD生长的GaN缓冲层薄膜进行了研究.极图研究表明,低温GaN 薄膜中除有正常结晶外还存在一次孪晶和......
期刊
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GaN/GaAs
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