研究了深能级瞬态谱（DLTS）测量HfO2/SrTiO3（STO）场效应晶体管中缺陷的方法。该场效应晶体管的沟道为Ar+轰击SrTiO3表面形成的导电层,导......

钛酸锶(SrTiO_3,STO)是一种具有典型钙钛矿结构的绝缘体,近年来各项实验表明,用氩离子(Ar+)轰击绝缘SrTiO_3后,其表面准二维导电层......