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环孔HgCdTe焦平面探测器
本文给出了我们采用环孔互连工艺研制288×4长波HgCdTe焦平面探测器的最新进展,包括器件环孔技术介绍、探测器芯片制备工艺,报道了......
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环孔互连工艺
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