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InAs基InAs/Ga(As)Sb II类超晶格长波红外探测器湿法腐蚀研究
开展了 InAs基 InAs/Ga(As)Sb II类超晶格长波红外探测器的湿法腐蚀工艺研究.选择的腐蚀液由柠檬酸、磷酸和过氧化氢组成,先后在In......
期刊
InAs/Ga(As)Sb
II类超晶格
湿法腐蚀
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InAs/Ga(As)Sb
type-IIsuperlattice
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