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磁控溅射LaNi5薄膜氢敏特性研究
氢气作为新型清洁能源是人们追求环境和能源和谐统一的最佳选择。随着氢气在工业中大量生产和应用,研制出性能良好、结构简单的氢......
学位
LaNi5薄膜
磁控溅射
薄膜生长
退火处理
氢敏性能
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