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本实验设计了永磁非对称轴向二极场ＭＷＥＣＲ－ＣＶＤ系统，并对系统的等离子体特性进行了研究，获得了等离子体空间分布的图像以及气压对等离子体参数的......
应用微波电子回旋共振化学气相沉积(MWECR CVD)方法,在较高速率下沉积了a-Si:H薄膜,用FTIR红外谱仪研究a-Si:H薄膜的结构特性与衬......
为了定量地得到磁场梯度对a-Si：H薄膜沉积速率的影响，对单磁场线圈分散场MwECRCVD系统等离子体室和沉积室中用三种方法得到的磁场形......
本论文介绍了我们对ECR等离子体CVD系统的测试、BN薄膜的制备和薄膜光学特性研究。首先在统计大量文献的基础上，分析了BN薄膜的研究......
用微波电子回旋共振化学气相沉积（MWECRCVD）系统制备了具有非晶／微品两相结构的硅薄膜，研究了沉积温度和沉积压力等对制备微晶硅薄膜的......
