Patterned chemical template consisting of both amine- and methyl-terminated self-assembled monolayers has been fabricate......

机械加工以连续介质理论为基础，化学则侧重于对离散的化学键的操作，因而两者有本质的区别。但在纳米加工领域，机械学面；临着化学键的不......

原子力显微镜是一种重要的纳米加工工具,在强电场的辅助下,可以实现凸起或凹陷的纳米结构加工,为纳米器件的制造提供技术支持。电......

概述了光学光刻技术向纳米制造挺进过程中光源、光学系统、照明技术、掩模设计、抗蚀剂、光学邻近效应校正、工作台等方面的进展以......