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Piranha溶液处理相关论文
原子级平整硅基底的制备
采用RCA方法与Piranha溶液处理相结合,对单晶硅表面超声腐蚀处理,接触角、原子力显微镜(AFM)表征结果显示获得了平整高羟基密度的......
期刊
硅基底
制备
自组装性能
原子级平整表面
RCA方法
Piranha溶液处理
半导体材料
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preparation
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