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原子级平整表面相关论文

原子级平整硅基底的制备

采用RCA方法与Piranha溶液处理相结合,对单晶硅表面超声腐蚀处理,接触角、原子力显微镜(AFM)表征结果显示获得了平整高羟基密度的......

期刊

硅基底制备自组装性能原子级平整表面 RCA方法 Piranha溶液处理半导体材料 silicon substrate preparation sel

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