在目前成熟的IC技术的辅佐下,微机电系统(MEMS)产品的尺度可控制在毫米到微米量级范围内,并可进行大规模生产,这无疑为产品的小型......

（北京,2007年3月5日）--安捷伦科技今天宣布推出两种FET单刀双掷（SPDT）固态开关-U9397A和U9397C,这两种开关的工作频率分别是从300 kHz......

设计了一种新型横向接触式微机械RF开关，描述了其结构和工作原理．采用以电镀为主的工艺流程，并利用SU8光刻胶实现特殊器件结构，可实现P......

本文给出了一种新型RFMEMS开关的设计,采用膜桥结构,在打折梁的下面带有移动的介质膜,由静电驱动打折梁,这样的结构具有开关响应时......

微电子机械系统(MEMS,Micro-electro-mechanical-system)是指可批量制备的,集微型结构、微型传感器、微型执行器,信号处理和控制电......

微驱动器作为MEMS十分重要的分支之一，近年来受到国外和国内研究人员的广泛关注，并且具有广阔的应用前景。本文提出的低驱动电压、大......