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在用二次离子质谱（SIMS）进行重掺砷硅单晶中痕量硼的定量分析时，有时会出现硅片表面局部区域硼浓度非常高，接近10^16atom／cm^3的现象。......
<正> 一、引言 与其他表面分析方法相比,二次离子质谱(简称SIMS)法具有这样的特点:对大部分元素有很高的探测灵敏度(<10~(-4)单层)......
