硅中氧相关论文
本文介绍采用密闭热系统拉晶工艺拉制单晶的情况。试验表明，密闭拉晶不仅有利于减少电耗和氩气消耗，而且可有效地降低硅单晶的氧含量......
在用二次离子质谱（SIMS）进行重掺砷硅单晶中痕量硼的定量分析时，有时会出现硅片表面局部区域硼浓度非常高，接近10^16atom／cm^3的现象。......
实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量分析软件是WQF系列傅立叶变换红外光谱仪的中文显示专用软件,主要用于硅单晶(直拉硅、区熔硅)中......
应用红外光谱、高分辨透射电镜研究了高碳CZ硅中的氧沉淀.实验表明:高碳样品中有两种成核长大机制形成的氧沉淀,一是多碳中心的异......
