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SU8光刻胶相关论文
基于SU8胶制备立体结构柔性压阻传感器及其性能研究
近年来,随着虚拟现实(Virtual Reality,VR)、人工智能(Artificial Intelligence,AI)领域的不断发展,智能穿戴与仿生探测设备的研究取得......
学位
石墨烯
液相剥离
SU8光刻胶
激光直写
柔性力学传感器
利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究
SU8光刻胶优异的性能在MEMS技术的发展重得到了广泛的应用,已经成为MEMS研究中必不可少的方法之一.SU8光刻胶能够进行厚度达毫米的......
期刊
微机电系统
微结构
紫外光刻
光刻胶
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