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Si-V缺陷相关论文
氧离子注入微晶金刚石薄膜的微结构与光电性能研究
本文系统研究了氧离子注入剂量和退火温度对含有Si-V发光中心的微晶金刚石薄膜的微结构和光电性能的影响.结果表明,氧离子注入并在......
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金刚石薄膜
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