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沉积在硅尖上的氮化硼薄膜的场发射特性
利用射频磁控溅射方法,在硅尖上沉积了氮化硼(BN)薄膜.红外光谱分析表明,BN薄膜结构为六角BN(h-BN)相(1380cm^-1和780cm^-1).在超高真空系统......
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BN薄膜
场发射
硅尖
Boron nitride films
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