硅尖相关论文
近十来年,石墨烯材料在储能、太阳能电池、传感器、场发射器件等领域得到了广泛的应用。特别是在场发射器件中,石墨烯越来越成为热......
氢氧化钾溶液腐蚀硅尖具有易于实现、设备简单、优异的纵向腐蚀均匀性等优点,但腐蚀均匀性差、纵向和横向腐蚀速率之比低、针形为......
振动梁式微机械隧道陀螺仪是一种以悬臂梁作为换能构件,以电子隧道效应为输出敏感方式的高精度和高灵敏的角振动传感器,解决了传统......
介绍了硅尖的制备及其在传感器技术中的应用.硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖,故比其它材料微尖更实用.硅尖的应用随着......
本文提出了一种扭摆、谐振型隧穿式磁强计及其设计方法，它采用扭摆型线圈敏感被测磁场，结构易于加工且能够有效降低1／f噪声的影响。通......
各向异性KOH溶液腐蚀硅尖具有简单、易于实现、成本低廉、（100）晶面腐蚀速率均匀等优点。然而在40％KOH溶液中削角速率和（100）晶面的腐蚀......
采用KOH溶液各向异性腐蚀单晶硅的方法制备高纵横比的纳米硅尖,研究了腐蚀溶液的浓度、添加剂异丙醇（IPA）对硅尖形状的影响。设计了......
研究真空微电子器件场致发射硅尖阵列的制作工艺.利用HNA湿法腐蚀工艺制作场致发射硅尖阵列,比较带胶腐蚀与不带胶腐蚀的不同.采用......
本文介绍了硅尖的制备及其在不同领域的应用.硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖,故比其它材料微尖更实用.硅尖的应用随着......
为制备高纵横比的纳米硅尖，研究了掩模的偏转方向对硅尖形状的影响。设计了硅尖制备的工艺流程，采用KOH溶液湿法各向异性腐蚀（100）单晶......
近年来,随着微机电技术的迅速发展,微纳尺度的打印技术被广泛应用在各种微器件的制造上。然而,目前多数电喷射打印是通过减少打印......
