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在Si和4H-SiC衬底上制备β-FeSi2薄膜
近年来,环境半导体β-FeSi2作为光电材料的研究引发了人们的广泛关注。本文通过直流磁控溅射+RTA的方法在Si(100)和4H-SiC(OOOI)衬......
学位
光电材料
β-FeSi2薄膜
直流磁控溅射
4H-SiC衬底
退火工艺
Si靶
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