随着科学技术的日益发展,在微纳机电系统、柔性电子器件、航空航天、人体健康监测等一些需要高集成、高效率、低能耗等特性的结构......

本文对全息光栅掩模制备中光刻胶薄膜的应力与厚度均匀性问题进行了研究。应用干涉法及Stoney公式计算的分析结果，对SiO2基底上光刻......

目的改善涂层张应力状态,进而提升取向硅钢的电磁性能。方法用扫描电镜、辉光光谱仪分析了添加磷酸盐的胶体二氧化硅绝缘涂层的厚......

通过干涉法并应用Stoney公式计算的结果，对SiO2基底上光刻胶薄膜的应力进行了研究。采用干涉显微镜在同一样品、不同直径上多点测量......

柔性衬底应用越发广泛,但其上面薄膜的残余应力却难以测量,并且只能做到小面积样品的测量。分析了柔性衬底上薄膜应力测量的特性,......

回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们......

在对基片曲率法常用的Stoney公式进行必要修正的基础上,提出了适合计算SU-8胶层内应力的理论模型,并采用轮廓法直观地测量了内应力......

研究和总结测量薄膜应力的方法,根据测量薄膜的不同特征量将常用的测量方法分为Stoney公式法、微观测量法等方法。在这些方法中,X......

目的搭建电铸应力实时检测平台,评估其测量精度,并探明电化学沉积过程中镍层平均内应力的变化规律。方法采用横向剪切波前传感器搭......

在固体力学领域,薄膜/基体结构的应力分析是一个经典的问题,有很多研究者对薄膜/基体结构的失配应力、曲率以及它们之间的关系进行......