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Ti-Si-Al-N纳米复合膜的组织与性能
采用磁控反应溅射法制备了一系列Al含量不同的Ti-Si-Al-N纳米复合薄膜,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜及配套能量色散谱仪研究了......
期刊
纳米复合膜
显微硬度
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反应溅射
薄膜
磁控反应溅射法
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纳米复合薄膜
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