随着信息技术的飞速发展，微型化与集成化是器件发展的两大趋势，MEMS(微机电系统)是其中一个热点领域，采用SU-8胶的UV光刻技术是制造ME......

<正> 半导体产业界的研究机构,International Sematech,(位于美国德克萨斯州的Austin)利用从一个6W氟激光光源获得的175nm紫外线,......

光刻在微制造过程中占据着举足轻重的地位,是在批量制造小尺寸半导体器件结构的关键瓶颈之一。半导体工艺工程师们需要尽可能准确......