X射线透射光栅相关论文
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为了制备高线密度X射线透射光栅掩模，分析了电子束光刻中场拼接对高线密度光栅图形的影响；利用几何校正技术和低灵敏度的950k的PMMA......
利用电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术，成功制作了面积为1mm×1mm，周期为300nm，金吸收体厚度为1um的用于X射线显微成像的透射光......
针对X射线透射光栅摄谱仪中的高线密度光栅,研究了采用电子束曝光和X射线曝光技术结合制作高线密度X射线透射光栅的工艺技术。首先......
