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石英是MEMS元器件的重要基底材料，其各向异性湿法刻蚀过程极为复杂。LevelSet方法作为一种隐式追踪运动界面的方法，可用于追踪复杂运......
对Z切石英在氟化氢铵溶液中的腐蚀特性进行了研究。首先研究了Z向腐蚀速率随腐蚀温度和腐蚀液浓度的变化关系,然后研究了Z向表面腐......
基于石英晶体各晶面的湿法刻蚀速率,研究了石英微结构侧壁形貌的预测方法,讨论了各向异性湿法刻蚀石英的规律。首先,总结了石英各......
