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a-C薄膜相关论文

低能量PLD方法沉积的a—C薄膜结构及光学性能研究

用低能量脉冲激光沉积（PLD）方法在单晶硅片、石英玻璃片、载玻片等基底材料上分别沉积了一层碳膜.X射线衍射谱证明碳膜为非晶态,喇曼......

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脉冲激光沉积 a-C薄膜 PLD方法 DLC膜类金刚石碳膜薄膜结构光学性能 pulsed laser deposity a-C

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