类金刚石碳膜相关论文
在原子级的厚度下,石墨烯展现出优异的机械性能以及超润滑性质,这使其非常适合对涂层厚度以及性能有很高要求的纳米机电系统。基底......
类金刚石碳膜(DLC)中掺入氮元素的主要目的有两个;一是寻求人工合成β-CN超硬化合物的可能性,二是对类金刚石碳膜进行掺杂,以改善......
分别利用甲醇和甲醇-尿素有机溶液作碳源,采用电化学沉积方法,在单晶硅表面沉积得到DLC和CN薄膜.利用拉曼光谱、原子力显微镜和球......
利用阴极磁过滤,分别在不锈钢(1Cr18Ni9Ti)和单晶硅基体上制备Ti掺杂复合DLC(TiC/a-C:H)薄膜,分别利用Raman光谱、XPS和TEM对薄膜......
干气密封“硬对硬”的摩擦副设计,存在端面磨损和密封失效等问题.因此,提出了在静环表面制备类金刚石碳膜(DLC)以此改善干气密封运......
基质辅助激光解吸离子化技术(Matrix Assisted Laser Desorption/Ionisation,MALDI)是有效的生物分子质谱分析工具,己广泛应用于非......
本文根据(Ge/SiO)膜堆红外滤光片特性退化的实验,讨论了特性退化机理,从而找到了改进特性退化的方法,并制备出能经受水、盐水和酸......
第1期领导题词·····················································......
类金刚石碳膜是一种新的高技术功能薄膜材料,具有类似金刚石的优异特性,在电子、光学、化工、机械、仪表等领域具有广阔的应用前景......
本文综合评述了用射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)法制备类金刚石碳膜过程中的等离子体化学反应和等离子体与材料表面反应机理的研究概况......
一、前言金刚石以超硬、耐磨、高绝缘、高导热、化学惰性以及高温半导体等优异性能被视为珍品,誉为宝石之王。可是直到本世纪五十......
用正丁胺作碳源,采用射频辉光等离子系统制备类金刚石碳膜(DLC),沉积在聚合物发光器件中的发光层(MEH-PPV)和铝(Al)阴极间作电子注......
9206001 功率半导体器件的Al和Ga离子注人技术——Watanabe M.J.Electrochem.Soc.,(USA)1990,(137):2604(英文) 离子注入Al和Ga进......
利用射频磁控溅射法成功制备了类金刚石薄膜,研究了溅射功率和基片温度对所沉积的薄膜的性能的影响.对所制备的类金刚石薄膜用拉曼光......
由于类金刚石碳膜在其硬度、导热性、化学稳定性,以及电学、光学性质等方面的特点,可望在作为保护膜,散热元件,光学薄膜,以至于光......
本文简略地回顾了用低压气相法制备类金刚石碳(DLC)膜的工艺;讨论了DLC膜的形成机制;评述了DLC膜的性能与工艺参数间的关系。
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利用珀尔帖效应,采用三夹层技术测量了类金刚石碳(DLC)膜的热传导率,并指出在高离子轰击能量和低CH_4气压下。通过rf等离子体沉积......
激光消融与光化学蒸气沉积1.引言最近激光消融和光化学蒸气沉积作为生产各种薄膜的可能沉积法而受到重视。在激光消融中,强脉冲激光束......
射频离解烃方法制备了适用于作软磁盘保护层的类金刚石碳膜。在基本不影响盘原有电磁特性前提下,保护膜兼备良好的耐磨、抗高温高湿......
本文对双离子束溅射淀积法制备的类金刚石碳膜进行了大气中的热退火研究。退火温度300℃,时间分别为1.5h和3.Oh.对退火前后的样品分别作了红外透......
金刚石和类金刚石膜是当今材料界的研究热点之一,有着极其诱人的应用前景。本文简要综述了该膜系的发展过程和现在水平。并结合作者......
用射频等离子体方法分解甲烷,在Ge片上制备了类金刚石碳(DLC)膜。该膜折射率在2左右,具有较好的增透作用。双面镀DLC膜系统的红外透射......
9907042直流磁控溅射沉积Ti┐C∶H膜——KulikovskyV.DiamondandRelatedMaterials,1998,7(6)∶774(英文)研究用直流磁控溅射沉积法及用Ti靶、CH4加Ar气混合气制备类金刚石膜[含(10~20)%...
DC Magnetron Sputtering D......
利用射频等离子体分解甲烷的技术在锗片上沉积了非晶结构的类金刚石碳膜。傅里叶红外光谱仪测量显示镀覆了类金刚石碳膜的锗片在红......
采用原子力显微镜 (AFM )、俄歇电子能谱 (AES)和显微压痕分析等手段对射频等离子体增强化学气相沉积法制备的掺氮类金刚石 (DLC :......
研究了有衬底影响的类金刚石碳(DLC)膜硬度测定技术。采用H-D关系外推、Meyer图计算及J¨onsson-Hogmark公式计算(考虑ISE)等三种方法测定了DLC膜的“真实”硬度。结果表......
综述泅-页电站装备失效分析及其预防—………………………·(l-15)薄膜成分、微结构及力学性能表征…………………(l-28) ·试验与......
类金刚石是一种新型材料,制备应用这种材料已成为国内外研究的热门课题。本文作者结合自己多年的研究工作,就这种材料的制备及其特......
以高纯石墨作靶、氩气(Ar)和三氟甲烷(CHF3)为源气体,用反应磁控溅射法在不同射频功率下制备了氟化类金刚石碳(F-DLC)膜,并对其疏......
将涂覆金刚石碳( D L C) 膜的金属钛植入狗的下颌骨, 用 X 射线、光镜、透射电镜( T E M) 和扫描电镜( S E M) 等手段观测新骨细胞形貌, 数量、琥珀酸......
金属薄膜2 0 0 2 12 0 1 在脉动偏压下真空电弧沉积黄金薄膜的成核与生长———ChumSY .Surface&CoatingsTechnology ,2 0 0 1,13 7(2~ 3 ) :2 4 1(英文 )研究了在碳......
研究了碳氢气体通过射频辉光放电沉积类金刚石碳膜。研究了射频电压和沉积时间对膜厚和维氏显微硬度的影响。此外,还进行了微动磨......
采用非平衡磁控溅射与等离子源离子注入(PSII)的混合技术,在1Cr18Ni9Ti不锈钢上制备N/Ti,N/TiN/C/DLC多层膜,研究其结构和微动磨......
研究论文金刚石砂轮与花岗石摩擦界面能量传输特征的实验研究徐西鹏 ,MAL KIN S 1(1)………………………离子注入对 Si O2 表面......
射频离解烃制备了适用于5英寸计算机硬磁盘减摩、耐磨保护用的类金刚石碳膜。保护膜厚度不均匀性小于5%,硬度15.2GPa,结合力331MPa。无润滑下头盘摩擦......
众所周知,金刚石非常有用,但在某些工业领域里,比如半导体工业或光学工业中,需要金刚石薄膜。到目前为止,虽很少制得真正的金刚石......
本文介绍类金刚石薄膜的性能、应用领域及制备方法。着重报道利用射频等离子体分解碳氢化物制备这种薄膜的工艺实验及研制的设备构......
华北光电所已完成了能在大型红外光学零件上镀制类金刚石碳膜的技术研究,并通过了鉴定,是目前国内有此技术的第一家单位。
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本文介绍了类金刚石碳膜的结构和性能在高能离子束辐照、真空热退火及脉冲激光辐照等后处理条件下的变化特征,并就该膜在各种处理......
本文先介绍了类金刚石碳膜的结构特点及电子能量损失谱的原理和分类;然后着重评述了近年来电子能量损失谱在类金刚石碳膜(及有些金......
一种耐环境性能极好的复合光学窗口材料多晶硫化锌,在0.6~14μm的波长范围内具有透光性能,特别对8~10μm的红外光具有良好的透光性能,多晶硫化锌,用......