DLC膜相关论文
用双离子束溅射法在50℃以下的玻璃基片上淀积了类金刚石碳(DLC)膜.研究了轰击离子能量、轰击离子束流密度及轰击源内氢/氩流量比......
采用离子束溅射与离子束辅助沉积技术在医用Ti6Al4V舍金表面制备了双层类金刚石薄膜。分别用原子力显微镜、扫描电子显微镜、Raman......
利用脉冲真空电弧离子镀技术在Ti-Ni合金上镀制类金刚石(Diamond-likecarbon,简称DLC)膜的研究在国内尚属首次,从查阅的有关的国外......
本文采用实验室自制的射频等离子体化学气相沉积(RF PECVD)设备在ITO玻璃基片上制备超薄类金刚石(DLC)膜。实验将沉积时间控制在1m......
非平衡磁控溅射(U BM S)技术近年来得到了广泛地应用。采用该技术制备的类金刚石薄膜(DLC)具有许多独特的性质。本文利用正交实验......
类金刚石碳膜以其优异的性能,诸如高电阻率、高硬度、低摩擦系数、良好的光学特性等显示出良好的应用前景,越来越受到人们的关注。......
采用直流磁控溅射技术,在n-Si(100)衬底上制备了Cox C100-x(x=2.5～50,at%)颗粒膜,并对薄膜的结构、形貌、磁性能和巨磁电阻(GMR)效......
利用分子动力学模拟方法,从原子尺度上研究了类金刚石(DLC)薄膜生长过程.按照运动特点把入射原子在表面的行为分为表面冷冻、迁移......
采用磁过滤直流真空阴极弧沉积技术在单晶硅片、载玻片、不锈钢片基体上制备了类金刚石(DLC)膜.用光学显微镜、椭偏仪、Raman光谱......
利用分子动力学模拟方法研究了2—3nm厚的类金刚石(DLC)薄膜在金刚石基体(100)表面上的生长过程.分析了用来表征沉积后无定型碳膜......
在一台УВНИПА-1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取TiN-Ti-DLC、及其含有软金属Cu或PTFE覆盖膜的多层复合涂层.摩擦磨损......
采用等离子体基离子注入技术在30CrMnSi钢上制备了TiNx/DLC多层膜,通过X射线光电子谱和激光喇曼光谱测试分析了膜的结构特征,TiNx/......
重载作用下,类金刚石（DLC）薄膜直接应用于铝合金等软金属基体上易发生脆性破裂和剥离而导致过早失效。针对这一问题,以PEO陶瓷层作为......
主要针对类金刚石膜存在的内应力大、热稳定性差等缺点,通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti,Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂Ti,Zr金属......
采用真空磁过滤等离子电弧沉积的方法在9Cr18钢上沉积不同厚度的DLC膜.为了检测成膜质量,在较宽的载荷范围内分别使用显微硬度、纳......
本文介绍了在普通扬声器上涂覆ＤＬＣ膜的工艺，并测试了其性能，结果表明ＤＬＣ膜对扬声器的性能有明显改善。......
用射频等离子体增强化学气相沉积方法在硅片上制备了类金刚石碳膜,利用纳米压入仪的划痕附件研究了薄膜的纳米划擦行为.结果表明:......
用X射线光电子能谱(XPS)和小掠射角X射线衍射(GAXRD)研究了铝合金LY12等离子体基离子注入N+原位注入C形成AlN/DLC(类金刚石碳膜)改......
利用离子注入与沉积工艺在氮化硅陶瓷盘表面制备了厚约500nm的类金刚石碳膜（DLC膜）。采用有限元模型模拟计算了DLC膜的热应力，分析了......
采用真空磁过滤电弧离子镀法分别在9Cr18和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.2μm的类金刚石(DLC)膜.为了检测成膜质量,分别使用纳米压痕和......
利用PBII技术制备了TiN／DLC和TiN／Ag固体润滑膜，研究了膜层物成分结构及真空条件下的摩擦性能。结果表明：PBII有效地实现了表层润滑膜......
采用电化学沉积方法,甲醇有机溶剂作碳源,在直流电源作用下在单晶硅表面沉积得到碳薄膜.薄膜不溶于苯、丙酮等有机溶剂,具有较高的......
类金刚石薄膜(DLC膜)的成份(主要指sp3键和sp2键)是影响薄膜性能如薄膜的机械特性和电阻特性等的重要因素.因此,研究DLC膜的成份是......
以乙炔为气源,用等离子体基脉冲偏压沉积(plasma based pulsd bias deposition缩写PBPBD)技术进行了不同负脉冲偏压条件下制备DLC......
目的：通过类金刚石镀膜（DLC）的方法提高牙科车针的耐磨性。方法：选择临床常用3种类型新车针,每种车针选择同种型号若干支,一组非镀膜作......
利用磁过滤阴极真空弧沉积系统在硅片及以硅片为基底的2种弹性体材料表面沉积厚度为2．7nm的DLC膜，采用原子力显微镜和拉曼光谱仪对薄......
采用失重法、极化曲线法和金相显微分析等方法研究了类金刚石(DLC)膜对2Cr13不锈钢耐蚀行为的影响.失重试验结果表明:DLC膜较薄时......
采用电化学沉积方法,以甲醇溶剂作碳源,直流电压作用下在单晶硅表面沉积得到碳薄膜.通过研究石墨、金刚石和样品薄膜的XPS和XAES谱......
4．多层DLC膜沉积特性 由于类金刚石膜具有很高的硬度、化学惰性，特别高的热导率和电阻率，因此这种膜在工业上已经有着许多的应用，比如......
利用等离子体基离子注入与沉积技术，在氮化硅陶瓷片表面制备200～400nm的类金刚石碳膜。测试薄膜的厚度、表面形貌、结构、膜基结合力......
本文采用等离子浸没离子注入和沉积技术成功地在TiNi合金表面制备了类金刚石(DLC)膜,以乙炔和石墨为碳源制备的DLC膜记为DLCa和DLC......
用低能量脉冲激光沉积（PLD）方法在单晶硅片、石英玻璃片、载玻片等基底材料上分别沉积了一层碳膜.X射线衍射谱证明碳膜为非晶态,喇曼......
采用ECR微波等离子体增强化学气相沉积的方法于C2H2，／H2／Ar2等离子环境中在单晶Si（111）晶面上制备了不同厚度的DLC膜样品．研究了薄膜的厚......
低温条件下在单晶硅表面沉积DLC膜和Si-DLC膜层，采用UMT-2微摩擦磨损实验机研究了两种膜层的摩擦磨损特性，借助拉曼光谱、X射线衍射......
在一台y B H ИП A-1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取Ti合金化DLC膜,用纳米硬度计、显微硬度计、原子力显微镜以及X射线衍......
用核反应分析方法,对等离子体基脉冲偏压沉积DLC膜的氢分布和氢含量进行了较系统的研究.结果表明,用等离子体基脉冲偏压沉积技术可......
为提高特种机械零件的耐磨性和耐腐蚀性,采用过滤阴极真空电弧技术在其表面沉积了一层厚度约为2μm的类金刚石碳(DLC)膜。利用扫描......
介绍了弯曲电弧磁过滤设备，并利用脉冲磁过滤阴极真空电弧沉积技术，在高速钢基体上制备了DLC膜。对制得的DLC薄膜表面形貌、Raman光......
超高分子量聚乙烯(UHMWPE)作为关节臼材料在人工关节中应用广泛,但是长期使用后,UHMWPE的磨屑问题会引发骨溶解和假体失效,为了解......
航空作动器主密封属于典型的往复密封,是飞机机翼、舱门等众多部位实现运动的关键零部件,决定着飞机飞行的安全与品质。随着液压压......
在8—12μm红外范围内Ge基底上设计和制备的一面宽带减反膜和一面介质+DLC膜。薄膜材料Ge、ZnS和YF3由电子束沉积法制得,DLC膜由PE......
近年来,高硬度、低摩擦、高耐磨性的类金刚石（Diamond like carbon,DLC）膜引起了国内外学术界和工业界极大的研究兴趣,尤其是它的超......
本文用改装的等离子体化学气相沉积系统,采用中频等离子体气相沉积技术沉积了类金刚石碳（DLC）膜。不同的碳氢气源在不同的放电情况下......
薄板微成形技术以其大批量、高效率、高精度、低成本、无污染等优点引起了国内外学者的关注并得到迅速发展,尤其是微拉深技术最为......
