用射频溅射法在硅单晶衬底上沉积出电导率高达６０Ｓ／ｃｍ的ａＳｉＨＹ合金薄膜。在２０～３００Ｋ，对于钇含量高的样品，其电导仍是热激活的。ｌｇσ与１／Ｔ的关系曲线能够被拟合......