大直径的单晶硅生长需要更多的时间和资源,提高单晶成晶率非常重要,石英坩埚是影响单晶产量和质量的主要因素。研究了两种不同内涂......

ＧｒｏｗｔｈＣｏｎｄｉｔｉｏｎｓｏｆΦ１００ｍｍｎ＜１１１＞ＦＺＳｉｌｉｃｏｎＳｉｎｇｌｅＣｒｙｓｔａｌＺｈｏｕＱｉｇａｎｇ，ＺｅｎｇＳｈｉｍｉｎｇ，ＺｈａｎｇＦｕｚｈｅｎ，ＣｈｅｎＹｕｎｇａｎｇａｎｄＳｕｎＨｕａｙｉｎｇ（周旗钢）（曾世铭）（张福珍.........