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高阻硅基铝硅合金弹性膜MEMS相移器
级联式MEMS相移器可通过悬浮于共平面波导之上的微机械可调电容的变化,来改变传输线的特性阻抗和相速,达到相移的目的,文中讨论了MEMS......
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铝硅合金弹性膜
MEMS相移器
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MEMS phase shifter
AlSi alloy membrane
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