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级联式MEMS相移器可通过悬浮于共平面波导之上的微机械可调电容的变化，来改变传输线的特性阻抗和相速，达到相移的目的，文中讨论了MEMS相移器特性对微机械电容和下拉电压的要求，并通过轻质量的铝硅合金弹性膜，获得了较低的下拉电压，测试结果表明，相移器的下拉电压不大于40V，且当控制电压大于10V时，即有明显的相移，该MEMS相移器制备于电阻率大于4000Ω·cm的高阻硅衬底上，获得了较好的传输特性，在整个测试频段1－40GHz,S21均小于3dB，并在25V时获得了大于25°的相移量。